常翔学園 広島国際大学図書館

半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる!

独立行政法人工業所有権総合情報館編. -- 発明協会, 2002. -- (特許流通支援チャート . 一般 ; 3). <BB00112266>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 禁帯出区分 状態 返却予定日 予約
0001 広国呉 広呉書庫1F 507.23||T||3 30563230 帯出可 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 広国呉
配置場所 広呉書庫1F
請求記号 507.23||T||3
資料ID 30563230
禁帯出区分 帯出可
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

タイトル/著者 半導体洗浄と環境適応技術 : ほしい技術が見えてくる! / 独立行政法人工業所有権総合情報館編
ハンドウタイ センジョウ ト カンキョウ テキオウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 発明協会 , 2002.6
形態事項 xii, 259p ; 30cm
巻号情報
ISBN 4827106819
シリーズ名 特許流通支援チャート||トッキョ リュウツウ シエン チャート <BB00111932> . 一般 ; 3//a
学情ID BA60928567
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 独立行政法人工業所有権総合情報館
ドクリツ ギョウセイ ホウジン コウギョウ ショユウケン ソウゴウ ジョウホウカン <>
件名標目等 特許||トッキョ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 洗浄法||センジョウホウ